MEMS関連機器

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MEMS関連機器

AFMシステム

Anfatec Instruments社製
AFM(原子間力顕微鏡)
Level-AFM 

高性能ながら低価格を実現した汎用タイプのAFM(原子間力顕微鏡)です。 コンタクトモード、ノンコンタクトモード、ダイナミックモード、フォースモードを標準搭載しており、オプションでEFM(電気力顕微鏡)、MFM(磁気力顕微鏡)、KPFM(ケルビンプローブ顕微鏡)、位相イメージングなど様々なモードの追加も可能です。
オープンソースとなっておりますので、カスタマイズにも最適です。 導入時にはメーカー技術者によるトレーニングをさせて頂きますので、初心者の方でも安心して使用出来ます。

【仕 様】
分解能(水平) 1 nm
分解能(高さ) 0.1 nm
スキャン範囲(水平) 50 μm
スキャン範囲(高さ) 5 μm
最大サンプルサイズ 40 mm × 40 mm
位置決め可能範囲 5 mm × 5 mm
【取得画像例】

Phase contrast of particles on sputtered gold on glass
Image size: 1 μm x 1 μm x 12 nm

Topography of Porous Aluminum
Image size: 2 μm x 2 μm x 110 nm

Hydrogen passivated Si(111)-surface with atomic steps
Image size: 1 μm x 1 μm x 4 nm

Topography of UMG03/Pt grating
Image size: 10 μm x 10 μm x 120 nm

Phase contrast of Au-particles inside polymer sheet
Image size: 500nm x 500nm x 7nm

Ni cluster on a HOPG surface
Image size: 1 μm x 1 μm x 26 nm

上記以外にもAnfatec Instruments社製の高性能AFM、STM、SPMコントローラー、ロックインアンプなどもお取り扱いしております。お気軽にお問い合わせください。

Anfatec Instruments社メーカーホームページはこちらです » http://www.anfatec.de/

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

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