MEMS関連機器

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AFM用 単結晶ダイヤモンドプローブ

Artech Carbon LLC 社製
AFM用 単結晶ダイヤモンドプローブ(ART SCD Probes)

Artech Carbon LLC 社製 単結晶ダイヤモンドプローブ(ART SCD Probes)はAFM用に開発されたプローブです。シリコンカンチレバーの上にCVD法にてSCD(Single Crystal Diamond)チップを成長させて製作しています。独自のテクノロジーにて高アスペクト比でシャープな先端のチップ(探針)の製作を可能としました。ダイヤモンド製のチップなので、高耐摩耗性があり、高解像な画像を安定して取得可能です。

チップ(探針)仕様
材質 単結晶ダイヤモンド
アスペクト比(※) 5:1
全体角度(※) 10°
先端部曲率半径 5〜10 nm

※チップ先端部100nmにおいて

全体仕様
導電性 なし
耐熱温度 70℃
カンチレバーサイズ:1.6 mm x 3.4 mm x 0.4 mm
カンチレバー材質:シリコン
カンチレバー背面はアルミニウムでコーティングされています。
用途に応じて4種類のカンチレバータイプを用意しています。
型番 共振周波数 kHz バネ定数 N/m AFMモード
ART D10 10 0.15 コンタクトモード
ART D80 80 3.5 タッピングモード
フォースモジュレーション
コンタクトモード
ART D160 160 5 タッピングモード
硬い表面でのコンタクトモード
ART D300 300 40 タッピングモード
ノンコンタクトモード
硬い表面でのコンタクトモード
ナノインデンテーション
フォースナノリソグラフィー

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

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