MEMS関連機器

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SPM用テストサンプル(グレーティング)

MikroMasch 社製
SPM用テストサンプル(グレーティング)

用途に応じたSPM用テストサンプル、校正用グレーティングを取り揃えております。

TGXYZシリーズ(3軸校正用)

型番 ステップ高さ ピッチ アクティブエリア 試料サイズ
TGXYZ01 20nm 5 & 10μm 1 x 1mm 5 x 5 x 0.3mm
TGXYZ01/NM*
TGXYZ02 100nm
TGXYZ02/NM*
TGXYZ03 500nm
TGXYZ03/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

TGXシリーズ(水平方向校正用)

型番 ステップ高さ ピッチ エッジ半径 アクティブエリア 試料サイズ
TGX 1μm 3μm 5nm以下 1 x 1mm 5 x 5 x 0.3mm
TGX/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

TGF11シリーズ(水平方向(1方向)校正用)

型番 ステップ高さ ピッチ エッジ角度 アクティブエリア 試料サイズ
TGF11 1.75μm 10μm 54°74’ 3 x 3mm 5 x 5 x 0.3mm
TGF11/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

PAシリーズ(テストサンプル)

ピラミッド型の鋭い先端を持ったテストサンプルです。
最もシャープな先端部分の曲率半径は5nm以下です。

型番 ピラミッド構造物 最小曲率半径 アクティブエリア 試料サイズ
ベース幅 高さ
PA01 50〜100nm 50〜150nm 5nm以下 5 x 5mm 5 x 5 x 0.3mm
PA01/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

HOPG(Highly Ordered Pyrolytic Graphite(高配向パイログラファイト))

型番 モザイク
スプレッド
厚さ チップサイズ
HOPG/ZYA/DS/1-1 0.4° 1mm 10 x 10mm
HOPG/ZYA/DS/2-1 2mm
HOPG/ZYB/DS/1-1 0.8° 1mm
HOPG/ZYB/DS/2-1 2mm
HOPG/ZYH/DS/1-1 3.5° 1mm
HOPG/ZYH/DS/2-1 2mm

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

〒270-0021 千葉県松戸市小金原7丁目10番地25
電話番号 047-309-8311
FAX番号 047-309-8310
営業時間 9:00〜17:30(土日祝祭日はお休み)