真空関連機器

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真空関連機器

複合真空計

複合真空計 CC-10(クリスタル/コールドカソード コンビネーションゲージ)

測定範囲:1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]

CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲(1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa])の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。 大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10-7 [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。 センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。 また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備し、欧州規格 EN(CE)に対応しております。

製品カタログはこちらをダウンロードしてください。(216Kbyte)

【センサーの特徴】

大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。 センサのボディーはGNDで、陰極として使用しています。 コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。

【仕 様】
測定範囲 1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]
センサー クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
表示 7セグメントLED ・アナログ出力: DC 0〜10[V] log出力または複合出力から選択
セットポイント 3点(1点独立、2点はコモン共通)接点容量;DC50V、0.12[A]
デジタルインターフェース RS485
フランジ NW25、またはICF70
電源電圧 DC22〜26[V]
※ACでご使用の場合は別途ACアダプタ(オプション)が必要となります。
動作周囲温度 0〜50[℃]
ベーキング温度 MAX 100℃(回路部を取り外すこと)
外形寸法 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25)
94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70)
突起部は除く
重量 840[g] (NW25) 1060[g] (ICF70)

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

〒270-0021 千葉県松戸市小金原7丁目10番地25
電話番号 047-309-8311
FAX番号 047-309-8310
営業時間 9:00〜17:30(土日祝祭日はお休み)