XYZマニピュレータ
Thermionics Vacuum Products社製「XYZマニピュレータ」
各種「三軸マニピュレータ」お取り扱いしております。
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Thermionics Vacuum Products社製 ECシリーズ
ECシリーズは低価格ながら高精度な位置決めが可能なメーカー標準品です。
特 徴
- 200℃ベーカブル
- 硬化鋼製X-Yローラーガイド
- 外径0.75インチのステンレス製デュアルZガイドロッド
仕 様
＊位置決め
| X,Y軸 | Z軸 |
|---|---|
| 分解能：< 0.0001″ (0.0025 mm) 再現性：< 0.00015″ (0.0038 mm) バックラッシュ：< 0.00015″ (0.0038 mm) | 分解能：< 0.0005″ (0.013 mm) 再現性：< 0.0005″ (0.013 mm) バックラッシュ：< 0.0007″ (0.018 mm) |
＊ベローズ
- 内形1.39インチ 又は 1.87インチ
＊X、Y軸
- 最大移動距離±0.5インチ
＊Z軸
- 最大移動距離2インチ、4インチ 又は 6インチ
- 0.1インチ／回転ノブ調整
＊接続フランジ
- 2.75インチフランジ（ICF70）ネジ穴付き
Thermionics Vacuum Products社製 EMCシリーズ
EMCシリーズはユーザーの要望に合わせてカスタマイズが可能な万能タイプです。
特 徴
- 内形1.39インチ 、1.87インチ、2.0インチ、2.5インチのベローズ
- 硬化鋼製X-Yローラーガイド
- 外径0.5インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
- 200℃ベーカブル
仕 様
＊X、Y軸
- 最大移動距離±0.5インチズ
- 分解能0.001インチ
＊Z軸
- 最大移動距離2～36インチ（2インチ刻みで選択可能）
- 分解能0.001インチ
- 0.1インチ／回転ノブ調整
＊ベースフランジ
- 2.75インチフランジ（ICF70）
- 4.5インチフランジ（ICF114）
- 6.0インチフランジ（ICF152）オプション
- 8.0インチフランジ（ICF203）オプション
＊上部接続フランジ
- 2.75インチフランジ（ICF70）ネジ穴付き
Thermionics Vacuum Products社製 EMXシリーズ
EMXシリーズは大口径ベローズで真空チャンバーへのアクセスがしやすいタイプです。
特 徴
- 内形2.0インチ、2.5インチ、3.0インチのベローズ
- 硬化鋼製X-Yローラーガイド
- 外径0.75インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
- 200℃ベーカブル
仕 様
＊X、Y軸
- 最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
- 分解能0.001インチ
＊Z軸
- 最大移動距離2～36インチ（2インチ刻みで選択可能）
- 分解能0.001インチ
- 0.05インチ／回転ノブ調整
＊ベースフランジ
- 4.5インチフランジ（ICF114）
- 6.0インチフランジ（ICF152）オプション
- 8.0インチフランジ（ICF203）オプション
＊上部接続フランジ
- 4.5インチフランジ（ICF114）ネジ穴付き
- 2.75インチフランジ（ICF70）オプション
Thermionics Vacuum Products社製 FMシリーズ
FMシリーズはローコストにてZ軸の動作距離が大きく使用出来るタイプです。ベースフランジ側にXY軸用の大口径の短いベローズを、上部側には小口径の長いベローズを使用しています。このタイプは口径サイズは必要ないがZ軸の動作距離が必要な要求に最適です。また、水平・垂直の両方向で使用可能です。
特 徴
- 拡張バックフレーム
- 硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
- 200℃ベーカブル
- 4.0インチXY軸用ベローズ、2.5インチZ軸用ベローズ
仕 様
＊位置決め
| X,Y軸 | Z軸 |
|---|---|
| 分解能：< 0.0001″ (0.0025 mm) 再現性：< 0.0001″ (0.0025 mm) バックラッシュ：< 0.00015″ (0.0038 mm) | 分解能：< 0.0005″ (0.0127 mm) 再現性：< 0.0005″ (0.0127 mm) バックラッシュ：< 0.0007″ (0.0178 mm) |
＊X、Y軸
- 最最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
- 分解能0.001インチ
＊Z軸
- 最大移動距離2～36インチ
- 分解能0.001インチ
- 0.1インチ／回転ノブ調整
＊ベースフランジ
- 6.0インチフランジ（ICF152）ネジ穴付き
＊上部接続フランジ
- 2.75インチフランジ（ICF70）
Thermionics Vacuum Products社製 FBシリーズ
FBシリーズは大口径、大荷重対応タイプです。通常タイプでは80ポンド（36kg）、オプションで200ポンド（90kg）までの荷重が可能です。
特 徴
- 超硬化5面ボックス構造
- 硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
- 300℃ベーカブルッド
- 内形3.0インチ、4.0インチ、6.3インチのベローズ
仕 様
＊位置決め
| X,Y軸 | Z軸 |
|---|---|
| 分解能：< 0.0001″ (0.0025 mm) 再現性：< 0.0001″ (0.0025 mm) バックラッシュ：< 0.00015″ (0.0038 mm) | 分解能：< 0.0002″ (0.0051 mm) 再現性：< 0.0003″ (0.0076 mm) バックラッシュ：< 0.0006″ (0.0152 mm) |
＊X、Y軸
- 最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
- 分解能0.0001インチ
＊Z軸
- 最大移動距離2～36インチ
- 分解能0.001インチ
- 0.05インチ／回転ノブ調整
＊ベースフランジ
- 4.5インチフランジ（ICF114）
- 6.0インチフランジ（ICF152）
- 8.0インチフランジ（ICF203）オプション
- 10.0インチフランジ（ICF254）オプション
＊上部接続フランジ
- 4.5インチフランジ（ICF114）
- 6.0インチフランジ（ICF152）