XYZマニピュレータ

Thermionics Vacuum Products社製「XYZマニピュレータ」

各種「三軸マニピュレータ」お取り扱いしております。
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Thermionics Vacuum Products社製 ECシリーズ

スタンダード
ICF152フランジ

ECシリーズは低価格ながら高精度な位置決めが可能なメーカー標準品です。

特 徴

  • 200℃ベーカブル
  • 硬化鋼製X-Yローラーガイド
  • 外径0.75インチのステンレス製デュアルZガイドロッド

仕 様

*位置決め

X,Y軸 Z軸
分解能:< 0.0001″ (0.0025 mm)
再現性:< 0.00015″ (0.0038 mm)
バックラッシュ:< 0.00015″ (0.0038 mm)
分解能:< 0.0005″ (0.013 mm)
再現性:< 0.0005″ (0.013 mm)
バックラッシュ:< 0.0007″ (0.018 mm)

*ベローズ

  • 内形1.39インチ 又は 1.87インチ

*X、Y軸

  • 最大移動距離±0.5インチ

*Z軸

  • 最大移動距離2インチ、4インチ 又は 6インチ
  • 0.1インチ/回転ノブ調整

*接続フランジ

  • 2.75インチフランジ(ICF70)ネジ穴付き

Thermionics Vacuum Products社製 EMCシリーズ

ICF152フランジタイプ

EMCシリーズはユーザーの要望に合わせてカスタマイズが可能な万能タイプです。

特 徴

  • 内形1.39インチ 、1.87インチ、2.0インチ、2.5インチのベローズ
  • 硬化鋼製X-Yローラーガイド
  • 外径0.5インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
  • 200℃ベーカブル

仕 様

*X、Y軸

  • 最大移動距離±0.5インチズ
  • 分解能0.001インチ

*Z軸

  • 最大移動距離2~36インチ(2インチ刻みで選択可能)
  • 分解能0.001インチ
  • 0.1インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

  • 2.75インチフランジ(ICF70)
  • 4.5インチフランジ(ICF114)
  • 6.0インチフランジ(ICF152)オプション
  • 8.0インチフランジ(ICF203)オプション

*上部接続フランジ

  • 2.75インチフランジ(ICF70)ネジ穴付き

Thermionics Vacuum Products社製 EMXシリーズ

EMXシリーズは大口径ベローズで真空チャンバーへのアクセスがしやすいタイプです。

特 徴

  • 内形2.0インチ、2.5インチ、3.0インチのベローズ
  • 硬化鋼製X-Yローラーガイド
  • 外径0.75インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
  • 200℃ベーカブル

仕 様

*X、Y軸

  • 最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
  • 分解能0.001インチ

*Z軸

  • 最大移動距離2~36インチ(2インチ刻みで選択可能)
  • 分解能0.001インチ
  • 0.05インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

  • 4.5インチフランジ(ICF114)
  • 6.0インチフランジ(ICF152)オプション
  • 8.0インチフランジ(ICF203)オプション

*上部接続フランジ

  • 4.5インチフランジ(ICF114)ネジ穴付き
  • 2.75インチフランジ(ICF70)オプション

Thermionics Vacuum Products社製 FMシリーズ

FMシリーズはローコストにてZ軸の動作距離が大きく使用出来るタイプです。ベースフランジ側にXY軸用の大口径の短いベローズを、上部側には小口径の長いベローズを使用しています。このタイプは口径サイズは必要ないがZ軸の動作距離が必要な要求に最適です。また、水平・垂直の両方向で使用可能です。

特 徴

  • 拡張バックフレーム
  • 硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
  • 200℃ベーカブル
  • 4.0インチXY軸用ベローズ、2.5インチZ軸用ベローズ

仕 様

*位置決め

X,Y軸 Z軸
分解能:< 0.0001″ (0.0025 mm)
再現性:< 0.0001″ (0.0025 mm)
バックラッシュ:< 0.00015″ (0.0038 mm)
分解能:< 0.0005″ (0.0127 mm)
再現性:< 0.0005″ (0.0127 mm)
バックラッシュ:< 0.0007″ (0.0178 mm)

*X、Y軸

  • 最最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
  • 分解能0.001インチ

*Z軸

  • 最大移動距離2~36インチ
  • 分解能0.001インチ
  • 0.1インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

  • 6.0インチフランジ(ICF152)ネジ穴付き

*上部接続フランジ

  • 2.75インチフランジ(ICF70)

Thermionics Vacuum Products社製 FBシリーズ

FBシリーズは大口径、大荷重対応タイプです。通常タイプでは80ポンド(36kg)、オプションで200ポンド(90kg)までの荷重が可能です。

特 徴

  • 超硬化5面ボックス構造
  • 硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
  • 300℃ベーカブルッド
  • 内形3.0インチ、4.0インチ、6.3インチのベローズ

仕 様

*位置決め

X,Y軸 Z軸
分解能:< 0.0001″ (0.0025 mm)
再現性:< 0.0001″ (0.0025 mm)
バックラッシュ:< 0.00015″ (0.0038 mm)
分解能:< 0.0002″ (0.0051 mm)
再現性:< 0.0003″ (0.0076 mm)
バックラッシュ:< 0.0006″ (0.0152 mm)

*X、Y軸

  • 最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
  • 分解能0.0001インチ

*Z軸

  • 最大移動距離2~36インチ
  • 分解能0.001インチ
  • 0.05インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

  • 4.5インチフランジ(ICF114)
  • 6.0インチフランジ(ICF152)
  • 8.0インチフランジ(ICF203)オプション
  • 10.0インチフランジ(ICF254)オプション

*上部接続フランジ

  • 4.5インチフランジ(ICF114)
  • 6.0インチフランジ(ICF152)

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