残留ガス分析器（四重極型質量分析器）
Extorr社製「残留ガス分析器（XT シリーズ）」
ピラニー真空計とイオン真空計を完備している高性能ながら低価格な四重極型質量分析器（RGA）です。
100、200、300amuの3タイプがあり、どのような装置にも簡単接続可能な設計になっております。内蔵の真空計により圧力を正確に測定し、自動で計測器を調整・保護します。
特 徴
- 高性能・低価格
- ピラニー真空計・イオン真空計を装備
- コンパクトな設計
- PCへの簡単接続、簡単操作
用 途
- 残留ガス分析
- プロセスモニタ
- 不純物管理
仕 様
| 質量数範囲 | 1-100amu、1-200amu、1-300amu |
|---|---|
| 分解能 | 10% P.H. |
| 感 度 | 5×10-4 A/Torr |
| 最小検知分圧 | 5×10-14 torr |
| 検出器 | ファラデーカップ、マルチプライヤー |
| 使用圧力 | 大気〜超高真空（ガス残留分析時は10-3 torr以下） |
| 使用温度 | 70℃ |
| ベーキング可能温度 | 350℃ |
| 接続フランジ | ICF70 |