SPM用プローブ・カンチレバー

MIKROMASCH社製「SPM用プローブ/カンチレバー」

マイクロマッシュ社は幅広いAFMプローブを提供しています。様々なコーティングが施されたレギュラーシリコンカンチレバー、多様な形状及び機械特性のカンチレバーにマウントされた高分解能探針、導電性探針、磁気探針等幅広く取り揃えております。

通常タイプ(HQカンチレバー)に加え、チップがカンチレバー先端についているタイプ(OPUSカンチレバー)がラインナップに追加されました。OPUSカンチレバーを使用することにより走査するサンプル表面の位置が正確に分かります。 OPUSカンチレバーの注文単位は10本、24本、50本、100本です。

HQカンチレバー

一般的なタイプのカンチレバーです。

OPUSカンチレバー

チップがカンチレバー先端に ついているタイプです。

HQカンチレバー

カンチレバータイプ

NSC/CSC 1レバー
XSC11 4レバー
NSC 3レバー
NSC チップレス3レバー
CSC 3レバー
CSC チップレス3レバー
XSX12 4レバー

チップタイプ

多目的用途

ピラミッド型にエッチングされたシリコンプローブは鋭いチップ先端と安定した共振周波数を実現し、ダイナミックAFMを主として様々なタイプのAFMに最適です。このタイプのプローブは様々な仕様の共振周波数やばね定数の製品が揃っております。

チップ仕様
  • チップ半径:~ 8 nm
  • チップ材質:シリコン
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC19 125 22.5 1.0 65 0.5
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42

チップレスカンチレバー

チップレスタイプのプローブは、バネ定数、共振周波数が異なる3種類のカンチレバーがついています。独自の粒子などの修飾が可能です。

シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC35/Tipless
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36/Tipless
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37/Tipless
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38/Tipless
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05

長距離走査用途

HARDタイプのプローブもピラミッド型に鋭くエッチングされています。このプローブはDLCコーティングされておりますので、摩耗が少く、広範囲のスキャンや再現性に優れています。

チップ仕様
  • チップ半径:< 20 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:CSC18 225 27.5 27.5 75 2.8
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42

長距離操作用途(導電タイプ)

ダイヤモンドでコーティングした導電性のあるプローブです。 ダイヤモンドを厚めにコーティングしてあるので耐久性に優れています。

チップ仕様
  • チップ半径:< 250 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:DMD-XSC11
lever A 500 30 2.7 18 0.5
lever B 210 30 2.7 110 6.5
lever C 150 30 2.7 210 18
lever D 100 50 2.7 450 95

電気測定用途(高分解能タイプ)

DPERタイプのプローブはシリコンチップを白金でコーティングしております。コーティングは10nm程度と極薄ですので、チップ先端の鋭さは20nm以下を保持しております。白金コートをしておりますので、導電性が大きく、KFMやEFMなどの電気力顕微鏡に最適です。

チップ仕様
  • チップ半径:< 20 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:DPER-XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42

電気測定用途(低ノイズタイプ)

DPEプローブはチップにコーティングされた導電性層が特殊な構造をしており、電気的な感度を向上しながらも分解能を低下させることはありません。

チップ仕様
  • チップ半径:< 40 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:DPE-XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42

電気測定用途(プラチナ・金コーティングタイプ)

白金又は金でコーティングされたプローブは様々な電気力顕微鏡に最適です。

プラチナコーティングチップ仕様
  • チップ半径:< 30 nm
金コーティングチップ仕様
  • チップ半径:< 35 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC14 125 25 2.1 160 5.0
HQ:NSC15 125 30 4.0 325 40
HQ:NSC16 225 37.5 7.0 190 45
HQ:CSC17 450 50 2.0 13 0.18
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC19 125 22.5 1.0 65 0.5
HQ:NSC35
lever A 110 35 2.0 205 8.9
lever B 90 35 2.0 300 16
lever C 130 35 2.0 150 5.4
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6
HQ:CSC37
lever A 250 35 2.0 40 0.8
lever B 350 35 2.0 20 0.3
lever C 300 35 2.0 30 0.4
HQ:CSC38
lever A 250 32.5 1.0 20 0.09
lever B 350 32.5 1.0 10 0.03
lever C 300 32.5 1.0 14 0.05
HQ:XSC11
lever A 500 30 2.7 15 0.2
lever B 210 30 2.7 80 2.7
lever C 150 30 2.7 155 7
lever D 100 50 2.7 350 42

磁性用途

NSCプローブは磁気力測定の為にチップに磁性膜をコーティングしています。コーティングはチップ側と背面の両面に60nmのコバルトと20nmのクロムから形成されています。

チップ仕様
  • チップ半径:< 60 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
HQ:NSC18 225 27.5 3.0 75 2.8
HQ:NSC36
lever A 110 32.5 1.0 90 1.0
lever B 90 32.5 1.0 130 2
lever C 130 32.5 1.0 65 0.6

高分解能

高分解能プローブはシリコンチップの先端に非常に鋭いスパイク状のダイヤモンドライクカーボンを成長させて作製しています。取り扱いには十分な注意が必要となりますが、高解像度のスキャン像を得ることが出来ます。

スパイク仕様
  • スパイク半径:< 1 nm
  • スパイク高さ:100 – 200 nm
  • スパイク材料:ダイヤモンドライク
シリーズ カンチレバー
長さ(L±5um)
カンチレバー
幅(W±3um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
Hi’Res-C14 125 25 2.1 160 5.0
Hi’Res-C15 125 30 4.0 325 40
Hi’Res-C18 225 27.5 3.0 75 2.8
Hi’Res-C19 125 22.5 1.0 65 0.5

シリコンナイトライドプローブ(窒化ケイ素)

シリコナイトライド(窒化ケイ素)製の2種類のカンチレバーが両サイドについております。

チップ仕様
  • チップ半径:金コーティングなし:< 10nm
  • チップ半径:金コーティングあり:< 30nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±5um)
カンチレバー
厚さ(T±0.75um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数 N/m(平均)
XNC12
lever A 200 28 0.5 17 0.08
lever B 100 13.5 0.5 67 0.32

OPUSカンチレバー

カンチレバータイプ

1レバー
3レバー
4レバー

チップタイプ

スタンダードタイプ

ノンコンタクトモード、タッピングモードなどに最適です。カイチレバー背面にアルミニウムコーティング有/無のタイプがあります。

チップ仕様
  • チップ半径 < 7nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
55AC-NN 65 31 3 1200 100
55AC-NA 65 31 3 1200 100
160AC-NN 160 40 4 300 26
160AC-NA 160 40 4 300 26
200AC-NA 200 40 3.5 135 9
240AC-NN 240 40 2.6 70 2
240AC-NA 240 40 2.6 70 2
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
3XC-NN
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 175 40 3 150 9
Cantilever C 240 30 3 75 2.5
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
3XC-NA
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 175 40 3 150 9
Cantilever C 240 30 3 75 2.5
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
4XC-NN
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 240 30 3 75 2.5
Cantilever C 175 40 3 150 9
Cantilever D 65 31 3 1200 100

バイオ及び特殊アプリケーション用

ノンコンタクトモード、タッピングモードなどに最適です。チップに金コーティング有/無のタイプがあります。

チップ仕様
  • チップ半径:金コーティングなし:< 7 nm
  • チップ半径:金コーティングあり:< 30 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
55AC-NG 65 31 3 1200 100
160AC-NG 160 40 4 300 26
160AC-GG 160 40 4 300 26
240AC-NG 240 40 2.6 70 2
240AC-GG 240 40 2.6 70 2
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
3XC-GG
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 175 40 3 150 9
Cantilever C 240 30 3 75 2.5
シリーズ カンチレバー
長さ(L±15um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
4XC-GG
Cantilever A 500 30 3 17 0.3
Cantilever B 240 30 3 75 2.5
Cantilever C 175 40 3 150 9
Cantilever D 65 31 3 1200 100

電気計測用

電気測定(EFM、KPFM等)に最適です。カンチレバー全体(チップも含む)がプラチナでコーティングされています。

チップ仕様
  • チップ半径: < 25 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
240AC-PP 240 40 2.6 70 2

磁性測定用

磁性測定(MFM)に最適です。チップはコバルト合金、カンチレバー背面はアルミでコーティングされています。

チップ仕様
  • チップ半径: < 60 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
240AC-MA 240 40 2.6 70 2

高分解能

非常に鋭いスパイク状のダイヤモンドライクカーボンを使用したプローブです。カンチレバー部分は金でコーティングされています。

チップ仕様
  • チップ半径: < 1 nm
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
160AC-SG 160 40 4 300 26
240AC-SG 240 40 2.6 70 2

高アスペクト

カーボンナノファイバーを使用した高アスペクトプローブです。深い溝のある試料の測定に最適です。カンチレバー部分は金でコーティングされています。

チップ仕様
  • チップ半径: < 10 nm(先端)
  • チップ半径: < 50 nm(先端から200nmにおいて)
シリーズ カンチレバー
長さ(L±10um)
カンチレバー
幅(W±2um)
カンチレバー
厚さ(T±0.5um)
共振周波数
kHz(平均)
バネ定数
N/m(平均)
160AC-FG 160 40 4 300 26
240AC-FG 240 40 2.6 70 2

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