卓上SEM
SEC社製「卓上SEM（SNE-4500M Plus B）」
SEC社製の卓上SEMをお取り扱いしております。
卓上SEMながら汎用SEMに匹敵する性能を有するハイエンドモデルです。汎用SEMのモジュールを最小化して開発した高性能コンパクトSEMです。タングステンフィラメントタイプの卓上SEMでは業界最高の分解能5nm（最大倍率 150,000x）を実現し、加速電圧は1kV~30kVまで使用可能です。低真空モー ド / 高真空モードの切り替え、二次電子像 / 反射電子像の取得、モーター制御の5軸ステージ、アパーチャーサイズの切り替え機能などが全て標準搭載されております。また、オプションでEDS検出器（元素分析）や冷却ステージなどの追加も可能です。
画像例
仕様・性能
| 分解能 | 5nm |
|---|---|
| 倍率 | 20 x ~ 150,000 x |
| 検出器 | SE (二次電子) / BSE (反射電子) |
| 真空モード | 低真空 / 高真空 |
| ステージ | 5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御 X,Y : 40mm Z : 0 ~ 40mm R : 360° T : -45 ~ 90° |
| 最大サンプルサイズ | 80 mm(W) / 80 mm(D) / 40 mm(H) |
| カメラ | トップビューCCD カメラ |
| アパーチャー | 3 段階手動切り替え |
| 電子線源 | タングステンフィラメント |
| 加速電圧 | 1kV ~ 30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階 |
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ + ターボ分子ポンプ |
コントロールシステム
| OS | Windows 10 |
|---|---|
| モニター | 22 インチワイド |
使用条件
| 温度 | 15 ~ 30°C |
|---|---|
| 湿度 | 80%以下 (結露しないこと) |
| 電源 | 単相 100VAC 50/60Hz |
仕 様
| メインユニット | 390(W) x 380(D) x 560(H)、88kg |
|---|---|
| コントロールユニット | 390(W) x 325(D) x 560(H)、 0kg |
| ロータリーポンプ | 400(W) x 160(D) x 340(H)、24kg |
| コンプレッサ | 480(W) x 220(D) x 490(H)、15kg |
