AFM用単結晶ダイヤモンドプローブ
Artech Carbon LLC社製「AFM用 単結晶ダイヤモンドプローブ（ART SCD Probes）」
Artech Carbon LLC 社製 単結晶ダイヤモンドプローブ（ART SCD Probes）はAFM用に開発されたプローブです。シリコンカンチレバーの上にCVD法にてSCD（Single Crystal Diamond）チップを成長させて製作しています。独自のテクノロジーにて高アスペクト比でシャープな先端のチップ（探針）の製作を可能としました。ダイヤモンド製のチップなので、高耐摩耗性があり、高解像な画像を安定して取得可能です。
チップ（探針）仕様
- 材質：単結晶ダイヤモンド
- アスペクト比（※）：5：1
- 全体角度（※）：10°
- 先端部曲率半径：5〜10 nm
※チップ先端部100nmにおいて
全体仕様
- 導電性：なし
- 耐熱温度：70℃
- カンチレバーサイズ：1.6 mm x 3.4 mm x 0.4 mm
- カンチレバー材質：シリコン
カンチレバー背面はアルミニウムでコーティングされています。
用途に応じて4種類のカンチレバータイプを用意しています。
| 型番 | 共振周波数 kHz | バネ定数 N/m | AFMモード |
|---|---|---|---|
| ART D10 | 10 | 0.15 | コンタクトモード |
| ART D80 | 80 | 3.5 | タッピングモード フォースモジュレーション コンタクトモード |
| ART D160 | 160 | 5 | タッピングモード 硬い表面でのコンタクトモード |
| ART D300 | 300 | 40 | タッピングモード ノンコンタクトモード 硬い表面でのコンタクトモード ナノインデンテーション フォースナノリソグラフィー |