ピエゾバルブ
KEY HIGH VACUUM PRODUCTS社製「PEV-1」
圧電素子（ピエゾ）を使用したガスフローバルブのPEV-1は、0〜100Ｖの電圧を供給することによりガス流量を正確且つ迅速にコントロールすることが出来ます。応答速度は2ミリ秒であり、50PSIまでのガスを使用可能です。閉鎖時のガス漏れも 1×10-9 torrと非常に少なくリークバルブとしても最適です。半導体製造装置、核融合チャンバー、イオン研究、プラズマ研究等各種ガス・プロセス・コントロールに最適です。
仕 様
| ガス流量範囲 | 0〜500 SCCM |
|---|---|
| 応答速度 | 2ミリ秒 |
| 外部リークレート | 1×10-9 torr |
| 使用電圧 | 0〜100VDC（10μA以下） |
| 動作温度範囲 | +10〜+60℃ |
| 材 質 | SUS |
| 継 手 | 1/4″スウェジロックまたは1/4″VCR |
| 電気入力部 | BNC |
| 重 量 | 800g |
| その他 | 非通電時「閉」仕様 |