ピエゾバルブ

KEY HIGH VACUUM PRODUCTS社製「PEV-1」

圧電素子(ピエゾ)を使用したガスフローバルブのPEV-1は、0〜100Vの電圧を供給することによりガス流量を正確且つ迅速にコントロールすることが出来ます。応答速度は2ミリ秒であり、50PSIまでのガスを使用可能です。閉鎖時のガス漏れも 1×10-9 torrと非常に少なくリークバルブとしても最適です。半導体製造装置、核融合チャンバー、イオン研究、プラズマ研究等各種ガス・プロセス・コントロールに最適です。

仕 様

ガス流量範囲 0〜500 SCCM
応答速度 2ミリ秒
外部リークレート 1×10-9 torr
使用電圧 0〜100VDC(10μA以下)
動作温度範囲 +10〜+60℃
材 質 SUS
継 手 1/4″スウェジロックまたは1/4″VCR
電気入力部 BNC
重 量 800g
その他 非通電時「閉」仕様

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