SPM用テストサンプル(グレーティング)

MIKROMASCH社製「SPM用テストサンプル(グレーティング)」

用途に応じたSPM用テストサンプル、校正用グレーティングを取り揃えております。

TGXYZシリーズ(3軸校正用)

型番ステップ高さピッチアクティブエリア試料サイズ
TGXYZ0120nm5 & 10μm1 x 1mm5 x 5 x 0.3mm
TGXYZ01/NM*
TGXYZ02100nm
TGXYZ02/NM*
TGXYZ03500nm
TGXYZ03/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

TGXシリーズ(水平方向校正用)

型番ステップ高さピッチエッジ半径アクティブエリア試料サイズ
TGX1μm3μm5nm以下1 x 1mm5 x 5 x 0.3mm
TGX/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

TGF11シリーズ(水平方向(1方向)校正用)

型番ステップ高さピッチエッジ角度アクティブエリア試料サイズ
TGF111.75μm10μm54°74’3 x 3mm5 x 5 x 0.3mm
TGF11/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

PAシリーズ(テストサンプル)

ピラミッド型の鋭い先端を持ったテストサンプルです。
最もシャープな先端部分の曲率半径は5nm以下です。

型番ピラミッド構造物最小曲率半径アクティブエリア試料サイズ
ベース幅高さ
PA0150〜100nm50〜150nm5nm以下5 x 5mm5 x 5 x 0.3mm
PA01/NM*

*メタルディスクなしのタイプです。

HOPG(Highly Ordered Pyrolytic Graphite(高配向パイログラファイト))

型番モザイク
スプレッド
厚さチップサイズ
HOPG/ZYA/DS/1-10.4°1mm10 x 10mm
HOPG/ZYA/DS/2-12mm
HOPG/ZYB/DS/1-10.8°1mm
HOPG/ZYB/DS/2-12mm
HOPG/ZYH/DS/1-13.5°1mm
HOPG/ZYH/DS/2-12mm

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