SPM用テストサンプル（グレーティング）
MIKROMASCH社製「SPM用テストサンプル（グレーティング）」
用途に応じたSPM用テストサンプル、校正用グレーティングを取り揃えております。
TGXYZシリーズ（3軸校正用）
| 型番 | ステップ高さ | ピッチ | アクティブエリア | 試料サイズ |
|---|---|---|---|---|
| TGXYZ01 | 20nm | 5 & 10μm | 1 x 1mm | 5 x 5 x 0.3mm |
| TGXYZ01/NM* | ||||
| TGXYZ02 | 100nm | |||
| TGXYZ02/NM* | ||||
| TGXYZ03 | 500nm | |||
| TGXYZ03/NM* |
*メタルディスクなしのタイプです。
TGXシリーズ（水平方向校正用）
| 型番 | ステップ高さ | ピッチ | エッジ半径 | アクティブエリア | 試料サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| TGX | 1μm | 3μm | 5nm以下 | 1 x 1mm | 5 x 5 x 0.3mm |
| TGX/NM* |
*メタルディスクなしのタイプです。
TGF11シリーズ（水平方向（1方向）校正用）
| 型番 | ステップ高さ | ピッチ | エッジ角度 | アクティブエリア | 試料サイズ |
|---|---|---|---|---|---|
| TGF11 | 1.75μm | 10μm | 54°74’ | 3 x 3mm | 5 x 5 x 0.3mm |
| TGF11/NM* |
*メタルディスクなしのタイプです。
PAシリーズ（テストサンプル）
ピラミッド型の鋭い先端を持ったテストサンプルです。
最もシャープな先端部分の曲率半径は5nm以下です。
| 型番 | ピラミッド構造物 | 最小曲率半径 | アクティブエリア | 試料サイズ | |
|---|---|---|---|---|---|
| ベース幅 | 高さ | ||||
| PA01 | 50〜100nm | 50〜150nm | 5nm以下 | 5 x 5mm | 5 x 5 x 0.3mm |
| PA01/NM* | |||||
*メタルディスクなしのタイプです。
HOPG（Highly Ordered Pyrolytic Graphite（高配向パイログラファイト））
| 型番 | モザイク スプレッド | 厚さ | チップサイズ |
|---|---|---|---|
| HOPG/ZYA/DS/1-1 | 0.4° | 1mm | 10 x 10mm |
| HOPG/ZYA/DS/2-1 | 2mm | ||
| HOPG/ZYB/DS/1-1 | 0.8° | 1mm | |
| HOPG/ZYB/DS/2-1 | 2mm | ||
| HOPG/ZYH/DS/1-1 | 3.5° | 1mm | |
| HOPG/ZYH/DS/2-1 | 2mm |