電界イオン顕微鏡装置

電界イオン顕微鏡法は新しい手法ではありませんが、複数の結晶面での表面現象が一度にリアルタイムで観察でき、電界蒸発現象を利用した3次元観察も可能、など独特の特徴から金属材料や触媒研究に用いられてきました。近年は半導体や有機材料への適用も探求されています。

弊社では2種の研究用装置（高機能型FIM1、簡便卓上型FIM2-UHV02）を開発/提供しております。両機種とも全手動超高真空スタンドアローン装置ですが、幅広い研究開発に必要な拡張性/融通性を独自設計により実現しております。電界電子放射顕微鏡や電界脱離顕微鏡として使用はもちろんのこと、飛行時間計時システムの追加による表面原子/分子の質量分析同定も可能です。