複合真空計
複合真空計「CC-10（クリスタル／コールドカソード コンビネーションゲージ）」
測定範囲：1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]
CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ、12桁の圧力範囲（1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa]）の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。 大気圧から1 [Pa]まではクリスタルゲージ、1 [Pa]から10-7 [Pa]まではコールドカソードゲージを使用し測定します。 センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。 また、CC-10はデジタル通信RS485を標準装備し、欧州規格 EN（CE）に対応しております。
センサーの特徴
大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。 一方、高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。 センサのボディーはGNDで、陰極として使用しています。 コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。
仕 様
| 測定範囲 | 1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa] |
|---|---|
| センサー | クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ |
| 表示 | 7セグメントLED ・アナログ出力: DC 0〜10[V] log出力または複合出力から選択 |
| セットポイント | 3点（1点独立、2点はコモン共通）接点容量；DC50V、0.12[A] |
| デジタルインターフェース | RS485 |
| フランジ | NW25、またはICF70 |
| 電源電圧 | DC22〜26[V] ※ACでご使用の場合は別途ACアダプタ（オプション）が必要となります。 |
| 動作周囲温度 | 0〜50[℃] |
| ベーキング温度 | MAX 100℃（回路部を取り外すこと） |
| 外形寸法 | 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25) 94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70) 突起部は除く |
| 重量 | 840[g] （NW25） 1060[g] (ICF70) |