真空関連機器

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真空関連機器

電子銃・イオン銃

Kimball Physics社製
電子銃/イオン銃システム

世界中で使用されているKimball Physics社製電子銃/イオン銃は低エネルギーから高エネルギーまで幅広いエネルギー帯域の製品が充実しており、様々な用途に使用が可能です。また、ビーム径、動作距離なども調整可能で様々な装置に対応出来るように設計されております。偏向機能も標準装備しております。更にオプションによりラスタ走査機能・パルス化機能・LabVIEWによるリモートコントロールなど使用者に応じた機能を追加可能です。

新製品

超高速パルスが可能なフォトカソード(フォトエミッション)型電子銃の提供が可能となりました。お持ちのパルスレーザーを直接カソードに照射することにより光電子を発生させます。

EMG-4193型電子銃(1keV~30keV)

Photo Emission Option

EGH-8103型電子銃(10keV〜100keV)

EFG-7型電子銃(100eV〜5000eV)

電子銃/イオン銃用電源

【用 途】
  • 帯電中和
  • 電子線照射試験
  • RHEED、MBE、ESD
  • X線発生源
  • 電子ビーム溶接
  • 加速器
【仕 様】
*低エネルギー電子銃
Model TYPE ENERGY CURRENT SPOT SIZE DATA SHEET
ELG-2 Focusable 1eV-2000eV 1nA-10μA 0.5mm-5mm

532Kbyte

FRA-2X1-2 Flood 5eV-1000eV 1nA-400μA 2mm-50mm

1.7Mbyte

EGA-1012 Flood 5eV-1000eV 1μA-2mA 10mm-25mm

1.0Mbyte

EFG-7 Focusable/Flood 50eV-1500eV
100eV-5000eV
1nA-100μA 1mm-100mm

1.7Mbyte

4.4Mbyte

EGL-2022 Focusable 50eV-5000eV 1nA-100μA 1mm-10mm

1.0Mbyte

*中エネルギー電子銃
Model TYPE ENERGY CURRENT SPOT SIZE DATA SHEET
EGG-3101 Focusable 100eV-10keV 10nA-100μA 0.5mm-25mm

5.2Mbyte

EGG-3103 Focusable 100eV-10keV 0.2mA-10mA 1.5mm-20mm

305Kbyte

EGF-3104 Flood 200eV-20keV 1nA-100μA 15mm-50mm

1.6Mbyte

EGF-4104 Flood 200eV-30keV 1nA-100μA 15mm-400mm

7.2Mbyte

EMG-4212 Focusable 1keV-20keV
1keV-30keV
10nA-100μA 0.5mm-25mm

697Kbyte

710Kbyte

EMG-4193 Focusable 1keV-30keV 1nA-10μA 0.025mm-0.5mm

270Kbyte

EMG-4215 Focusable 1keV-30keV 1nA-5mA 0.5mm-25mm

1.3Mbyte

EMG-4210 Focusable 1keV-30keV 10μA-5mA 0.1mm-10mm

2.2Mbyte

*高エネルギー電子銃
Model TYPE ENERGY CURRENT SPOT SIZE DATA SHEET
EGH-6002 Focusable 1keV-50keV 10nA-100μA 0.5mm-100mm

83.2Kbyte

EGH-6115 Focusable/Flood 1keV-50keV 1nA-5mA 10mm-500mm

520Kbyte

EGH-6104 Flood 1keV-50keV 1nA-200μA 15mm-500mm

1.2Mbyte

EGH-6210 Focusable 1keV-60keV 10μA-5mA 50μm-10mm

3.8Mbyte

EGH-8100 Flood 1keV-100keV 10nA-1mA 3mm-100mm

1.2MKbyte

EGH-8103 Focusable 10keV-100keV 10nA-1mA 0.5mm-10mm

594Kbyte

EGH-8105 Focusable/Flood 1keV-100keV 50nA-100μA 10mm-500mm

872Kbyte

EGH-8201 Focusable 10keV-100keV 10nA-1mA 1mm-100mm

248Kbyte

EGH-8202 Focusable 10keV-100keV 10nA-1mA 1mm-15mm

184Kbyte

*イオン銃
Model ENERGY CURRENT ION SPECIES SPOT SIZE DATA SHEET
IGS-4 50eV-5keV 1nA-2μA Cs+, Li+, Na+, K+, Rb+ 1mm-20mm

443Kbyte

ILG-6 10eV-1keV 1nA-100nA Cs+, Li+, Na+, K+, Rb+ 1mm-5mm

281Kbyte

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

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