真空関連機器

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真空関連機器

XYZマニピュレータ

Thermionics Vacuum Products社製
XYZマニピュレータ

各種「三軸マニピュレータ」お取り扱いしております。
各製品をクリックすると詳細へ移動します。

スタンダードタイプ

ICF152フランジタイプ

EMCシリーズ

ECシリーズ

EMXシリーズ

FMシリーズ

FBシリーズ

Thermionics Vacuum Products社製 ECシリーズ

スタンダードタイプ

ICF152フランジタイプ(オプション)

ECシリーズは低価格ながら高精度な位置決めが可能なメーカー標準品です。

【特 徴】
200℃ベーカブル
硬化鋼製X-Yローラーガイド
外径0.75インチのステンレス製デュアルZガイドロッド
【主仕様】
*位置決め
X,Y軸 分解能:< 0.0001" (0.0025 mm)
再現性:< 0.00015" (0.0038 mm)
バックラッシュ:< 0.00015" (0.0038 mm)
Z軸 分解能:< 0.0005" (0.013 mm)
再現性:< 0.0005" (0.013 mm)
バックラッシュ:< 0.0007" (0.018 mm)
*ベローズ

内形1.39インチ 又は 1.87インチ

*X、Y軸

最大移動距離±0.5インチ

*Z軸

最大移動距離2インチ、4インチ 又は 6インチ
0.1インチ/回転ノブ調整

*接続フランジ

2.75インチフランジ(ICF70)ネジ穴付き

Thermionics Vacuum Products社製 EMCシリーズ

ICF152フランジタイプ

EMCシリーズはユーザーの要望に合わせてカスタマイズが可能な万能タイプです。

【特 徴】
内形1.39インチ 、1.87インチ、2.0インチ、2.5インチのベローズ
硬化鋼製X-Yローラーガイド
外径0.5インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
200℃ベーカブル
【主仕様】
*X、Y軸

最大移動距離±0.5インチ
分解能0.001インチ

*Z軸

最大移動距離2〜36インチ(2インチ刻みで選択可能)
分解能0.001インチ
0.1インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

2.75インチフランジ(ICF70)
4.5インチフランジ(ICF114)
6.0インチフランジ(ICF152)オプション
8.0インチフランジ(ICF203)オプション

*上部接続フランジ

2.75インチフランジ(ICF70)ネジ穴付き

Thermionics Vacuum Products社製 EMXシリーズ

EMXシリーズは大口径ベローズで真空チャンバーへのアクセスがしやすいタイプです。

【特 徴】
内形2.0インチ、2.5インチ、3.0インチのベローズ
硬化鋼製X-Yローラーガイド
外径0.75インチのステンレス製高精度Zガイドロッド
200℃ベーカブル
【主仕様】
*X、Y軸

最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
分解能0.001インチ

*Z軸

最大移動距離2〜36インチ(2インチ刻みで選択可能)
分解能0.001インチ
0.05インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

4.5インチフランジ(ICF114)
6.0インチフランジ(ICF152)オプション
8.0インチフランジ(ICF203)オプション

*上部接続フランジ

4.5インチフランジ(ICF114)ネジ穴付き
2.75インチフランジ(ICF70)オプション

Thermionics Vacuum Products社製 FMシリーズ

FMシリーズはローコストにてZ軸の動作距離が大きく使用出来るタイプです。ベースフランジ側にXY軸用の大口径の短いベローズを、上部側には小口径の長いベローズを使用しています。このタイプは口径サイズは必要ないがZ軸の動作距離が必要な要求に最適です。また、水平・垂直の両方向で使用可能です。

【特 徴】
拡張バックフレーム
硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
200℃ベーカブル
4.0インチXY軸用ベローズ、2.5インチZ軸用ベローズ
【主仕様】
*位置決め
X,Y軸 分解能:< 0.0001" (0.0025 mm)
再現性:< 0.0001" (0.0025 mm)
バックラッシュ:< 0.00015" (0.0038 mm)
Z軸 分解能:< 0.0005" (0.0127 mm)
再現性:< 0.0005" (0.0127 mm)
バックラッシュ:< 0.0007" (0.0178 mm)
*X、Y軸

最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
分解能0.001インチ

*Z軸

最大移動距離2〜36インチ
分解能0.001インチ
0.1インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

6.0インチフランジ(ICF152)ネジ穴付き

*上部接続フランジ

2.75インチフランジ(ICF70)

Thermionics Vacuum Products社製 FBシリーズ

FBシリーズは大口径、大荷重対応タイプです。通常タイプでは80ポンド(36kg)、オプションで200ポンド(90kg)までの荷重が可能です。

【特 徴】
超硬化5面ボックス構造
硬化鋼製ベアリング、ガイドロッド
300℃ベーカブル
内形3.0インチ、4.0インチ、6.3インチのベローズ
【主仕様】
*位置決め
X,Y軸 分解能:< 0.0001" (0.0025 mm)
再現性:< 0.0001" (0.0025 mm)
バックラッシュ:< 0.00015" (0.0038 mm)
Z軸 分解能:< 0.0002" (0.0051 mm)
再現性:< 0.0003" (0.0076 mm)
バックラッシュ:< 0.0006" (0.0152 mm)
*X、Y軸

最大移動距離±0.5インチ 又は ±1.0インチ
分解能0.0001インチ

*Z軸

最大移動距離2〜36インチ
分解能0.001インチ
0.05インチ/回転ノブ調整

*ベースフランジ

4.5インチフランジ(ICF114)
6.0インチフランジ(ICF152)
8.0インチフランジ(ICF203)オプション
10.0インチフランジ(ICF254)オプション

*上部接続フランジ

4.5インチフランジ(ICF114)
6.0インチフランジ(ICF152)

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

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