MEMS関連機器

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MEMS関連機器

卓上 SEM

SEC社製 卓上SEM(SNE-4500M Plus B)

卓上SEMながら汎用SEMに匹敵する性能を有するハイエンドモデルです。汎用SEMのモジュールを最小化して開発した高性能コンパクトSEMです。タングステンフィラメントタイプの卓上SEMでは業界最高の分解能5nm(最大倍率 150,000x)を実現し、加速電圧は1kV~30kVまで使用可能です。低真空モー ド / 高真空モードの切り替え、二次電子像 / 反射電子像の取得、モーター制御の5軸ステージ、アパーチャーサイズの切り替え機能などが全て標準搭載されております。また、オプションでEDS検出器(元素分析)や冷却ステージなどの追加も可能です。

操作画面

回転ステージ

取得画像例

シリコンウエハ(30,000x)

髪の毛(1,500x)

蟻(50x)

ガリウムナイトライド(10,000x)

ナノワイヤー(50,000x)

オイルフィルター(1,000x)

仕様・性能
分解能 5nm
倍率 20 x ~ 150,000 x
検出器 SE (二次電子) / BSE (反射電子)
真空モード 低真空 / 高真空
ステージ 5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御
X,Y : 40mm
Z : 0 ~ 40mm
R : 360°
T : -45 ~ 90°
最大サンプルサイズ 80 mm(W) / 80 mm(D) / 40 mm(H)
カメラ トップビューCCD カメラ
アパーチャー 3 段階手動切り替え
電子線源 タングステンフィラメント
加速電圧 1kV ~ 30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階
真空ポンプ ロータリーポンプ + ターボ分子ポンプ
コントロールシステム
OS Windows 10
モニター 22 インチワイド
使用条件
温度 15 ~ 30°C
湿度 80%以下 (結露しないこと)
電源 単相 100VAC 50/60Hz
サイズ・重量
メインユニット 390(W) x 380(D) x 560(H)、 88kg
コントロールユニット 390(W) x 325(D) x 560(H)、 40kg
ロータリーポンプ 400(W) x 160(D) x 340(H)、 24kg
コンプレッサ 480(W) x 220(D) x 490(H)、 15kg

株式会社 サイエンスラボラトリーズ

〒270-0021 千葉県松戸市小金原7丁目10番地25
電話番号 047-309-8311
FAX番号 047-309-8310
営業時間 9:00〜17:30(土日祝祭日はお休み)